大毘盧遮那成佛經疏 10.187

摩奴囉摩（意悅也，由受種種樂故）達摩三婆縛（法生也。此佛所化生，非關世天。垢，言從法生也）費婆縛（隨有三種也，三亦種子也）迦他那（說也，通上云隨其有所說也。隨彼法生，以解之法為眾生說法也）三種子三（亦種子堅與不堅皆離，體同於空，極令空故重字）